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J-GLOBAL ID：201302291413389932   整理番号：13A1873347

リモートプラズマ原子層蒸着で蒸着したAl₂O₃薄膜の水分透過障壁特性の高周波プラズマパワー依存性

Radio frequency plasma power dependence of the moisture permeation barrier characteristics of Al₂O₃ films deposited by remote plasma atomic layer deposition

著者 (5件)： JUNG Hyunsoo (Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR) ,  CHOI Hagyoung (Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR) ,  JEON Heeyoung (Dep. of Nano-scale Semiconductor Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR) ,  LEE Sanghun (Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR) ,  JEON Hyeongtag (Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 114  号： 17  ページ： 173511-173511-7  発行年： 2013年11月07日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 薄膜 ,  *酸化アルミニウム ,  *プラズマCVD ,  プラズマ ,  化学蒸着 ,  単原子層 ,  基板 ,  有機材料 ,  ポリエーテルスルホン ,  *透過 ,  *気体 ,  水分 ,  *障壁 ,  改良 ,  依存性 ,  照射線量
準シソーラス用語： モイスチャー ,  *気体透過 ,  原子層蒸着 ,  高周波プラズマ ,  照射量依存性 ,  *透過障壁 ,  有機薄膜

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： トリメチルアルミニウム

タイトルに関連する用語 (9件)： リモートプラズマ ,  原子層蒸着 ,  蒸着 ,  Al2O3 ,  薄膜 ,  水分 ,  透過障壁 ,  高周波プラズマ ,  パワー依存性