文献

J-GLOBAL ID：201302291970550878   整理番号：13A1087468

過酸化アンモニア混合物(APM)中における過酸化水素分解の研究

A study of hydrogen peroxide decomposition in ammonia-peroxide mixtures (APM)

著者 (5件)： SIDDIQUI S. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA) ,  KESWANI M. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA) ,  BROOKS B. (Intel Corp., Rio Rancho, NM 87124, USA) ,  FUERST A. (Intel Corp., Rio Rancho, NM 87124, USA) ,  RAGHAVAN S. (Dep. of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of Arizona, Tucson, AZ 85721, USA)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 102  ページ： 68-73  発行年： 2013年02月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学濃度モニタを用いて,過酸化アンモニア混合物(APM)の安定性を,温度(24~65°C),希釈率(1:1:5~1:2:100)およびFe²⁺濃度(0~10ppb)の関数として調査した。その結果は,過酸化水素濃度の変化が,4時間の期間の間に,温度とFe²⁺濃度の増加とともに増加を示した。過酸化水素の分解速度は,8.0~9.7の範囲の溶液pHの増加とともに増加した。実験データの動態解析は,H₂O₂分解反応がH₂O₂とOH^-のいづれにも濃度に関する一次反応速度論に従うことを示した。Fe²⁺の存在中において,過酸化水素分解は,H₂O₂に関する一次反応速度論に従った。計算した速度定数は,温度とFe²⁺濃度の増加とともに増加した。H₂O₂分解の見掛けの活性化エネルギーは65±3kJ/モルと計算された。Fe²⁺の存在中では,活性化エネルギーは50±5kJ/モルと計算された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *化学洗浄 ,  *半導体プロセス ,  過酸化水素 ,  水溶液 ,  過酸化物 ,  アンモニア ,  混合物 ,  分解反応 ,  反応速度論 ,  活性化エネルギー ,  金属イオン ,  鉄化合物 ,  水洗 ,  水酸化アンモニウム
準シソーラス用語： 過酸化水素水 ,  洗浄効果 ,  鉄イオン

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 過酸化 ,  アンモニア ,  混合物 ,  過酸化水素 ,  分解 ,  研究