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J-GLOBAL ID：201302293586328486   整理番号：13A1037135

イオン液体中への量子ビーム照射による三次元マイクロ・ナノ構造体の作製

著者 (7件)： 南本大穂 (大阪大 大学院) ,  津田哲哉 (大阪大 大学院) ,  今西哲士 (大阪大 大学院) ,  今西哲士 (JST-CREST) ,  関修平 (大阪大 大学院) ,  桑畑進 (大阪大 大学院) ,  桑畑進 (JST-CREST)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 93rd  号： 2  ページ： 256  発行年： 2013年03月08日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イオン液体とは,アニオンとカチオンのみから構成された室温で液体の有機塩であり,難揮発性や高いイオン伝道性等の様々な特異的性質を有する材料である。本研究では,イオン液体の難揮発性に注目し,真空技術である量子ビーム装置へと導入することで新規な微細加工法の開発に成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ビーム ,  *ウエハ【IC】 ,  *基板 ,  *集束イオンビーム ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *イオン照射 ,  ラジカル重合 ,  *微細加工 ,  イオン液体 ,  *揮発性 ,  イオン伝導 ,  放射線化学
準シソーラス用語： *シリコンウエハ ,  *収束イオンビーム ,  *量子ビーム

分類 (5件)： 融解塩  (CB05050R) ,  電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F) ,  光化学一般  (CB08010U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  混合伝導  (BM03060U)

物質索引 (2件)： ビス(トリフルオロメタンスルホン)イミド ,  1-アリル-3-エチル-1H-イミダゾール-3-イウム

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン ,  液体中 ,  量子ビーム ,  ナノ構造体 ,  作製