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J-GLOBAL ID：201302296650052952   整理番号：13A0850941

フェムト秒レーザー直接描画及び原子層堆積法による3次元金属フォトニック結晶の作製

著者 (5件)： 常盤塁也 (北大 電子科研) ,  SUN Quan (北大 電子科研) ,  上野貢生 (北大 電子科研) ,  上野貢生 (JST-さきがけ) ,  三澤弘明 (北大 電子科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 60th  ページ： ROMBUNNO.28P-C1-7  発行年： 2013年03月11日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： レーザリソグラフィー ,  フェムト秒 ,  *フォトニックバンドギャップ ,  金属 ,  化学蒸着 ,  パルスレーザ ,  型枠 ,  板 ,  レジスト ,  イリジウム ,  反射スペクトル ,  *結晶 ,  *フォトニック結晶
準シソーラス用語： *3次元フォトニック結晶 ,  テンプレート【型板】 ,  レーザ直接描画 ,  原子層堆積

分類 (2件)： 量子光学一般  (BD04010X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザー ,  直接描画 ,  原子層堆積法 ,  3次元 ,  フォトニック結晶 ,  作製