特許
J-GLOBAL ID：201303001321845457

プラズマ放射源を使用して複合層を製造する方法

発明者：
シュテファン グローセ

シュテファン グローセ について

, 
ヨハネス フォイクト

ヨハネス フォイクト について


出願人/特許権者：
ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング

ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング について


代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-542605
特許番号：特許第4908711号
出願日： 2000年10月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマ放射源(5)がプラズマ(10)を形成し、プラズマ(10)がプラズマ放射線(17)の形でプラズマ放射源(5)から放出し、基板(12)に作用する、高真空から大気圧に近い圧力範囲までで運転することができる少なくとも1個のプラズマ放射源(5)を使用して、プラズマ(10)に少なくとも1個の第1前駆物質および少なくとも1個の第2前駆物質(16、16′)を供給し、それら前駆物質(16、16′)をプラズマ放射線(17)中で変性または溶融させ、その後基板(12)に析出させ、基板(12)に少なくとも十分に非晶質のマトリックス層をこれに含まれるナノスケールまたはミクロスケールの封入物または結晶子とともに析出させる、基板(12)に機能被覆を製造する方法において、 第1前駆物質(16、16′)がナノスケールの粉末またはナノスケールの粉末の懸濁液であり、かつ、第2前駆物質(16、16′)がミクロスケールの粉末またはミクロスケールの粉末の懸濁液であり、かつ、第1前駆物質と第2前駆物質(16、16′)とは、蒸発温度および/または溶融温度が異なることを特徴とする、基板(12)に機能被覆を製造する方法。
IPC (2件)：
C23C 16/30 ( 200 6.01) ,  C23C 14/06 ( 200 6.01)
FI (2件)：
C23C 16/30 ,  C23C 14/06 L
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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