特許
J-GLOBAL ID：201303001361108994

走査電子顕微鏡

発明者：
森下 英郎

森下 英郎 について

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大嶋 卓

大嶋 卓 について

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波田野 道夫

波田野 道夫 について

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伊東 祐博

伊東 祐博 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-194563
公開番号（公開出願番号）：特開2013-058314
出願日： 2011年09月07日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：
【課題】低プローブ電流であっても、反射電子と二次電子とを弁別検出できる低加速の走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 電子銃29と、アパ-チャ26と、試料台3と、電子線31を試料2上に収束するための電子光学系4-1と、偏向手段10と、二次電子検出器8、反射電子検出器9と、電子銃29と試料2の間となる位置に筒状の電子輸送手段5を備え、反射電子検出器9は電子輸送手段5の内部であって、二次電子検出器8及び偏向手段10よりも電子銃29に対して遠方側に設置され、反射電子検出器9の感受面9-1は電子輸送手段5と同電位となるように電気的に配線されている。【選択図】図1(a)
請求項（抜粋）：
プロ-ブとなる電子線を発生させる電子源と、 前記電子線の径を制限するアパ-チャと、 前記電子線が照射される試料が搭載される試料台と、 前記電子線を前記試料表面に収束するための対物レンズと、 前記電子線を照射する試料上で前記電子線を走査するための偏向手段と、 前記試料からの二次電子を検出する二次電子検出器と、 前記試料からの反射電子または反射電子に由来する変換電子を検出する反射電子検出器と、 前記電子源と前記試料台に搭載される試料の間となる位置に筒状の電子輸送手段を備え、 前記反射電子検出器の感受面は前記電子輸送手段の内部であって、前記二次電子検出器及び前記偏向手段よりも前記電子源に対して遠方側に設置され、 前記反射電子検出器の前記感受面は前記電子輸送手段と同電位となるように電気的に配線されていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/28
FI (2件)：
H01J37/244 ,  H01J37/28 B
Fターム (8件)：
5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP02 ,  5C033NP05 ,  5C033NP06 ,  5C033NP08 ,  5C033UU02 ,  5C033UU04
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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