走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101652
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294074
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】リターディング法を用いながら、試料からの二次電子および反射電子を加速電圧および減速電界の大きさにかかわらず効率よく検出することのできる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】試料ホルダ17と、電子ビーム19を出射する電子線源1と、電子ビームを試料上で走査させる走査手段26、27と、対物レンズ3と、試料9上の空間に電子ビームを減速させる減速電界を形成する減速電界形成手段20と、電子ビーム19の照射により試料9から生じる二次電子15および反射電子16の少なくとも一方により構成される二次信号を検出するための検出器150、151を有する。第1の検出器150は、二次信号15、16が衝突する位置に配置され、二次信号15、16を検出するとともに、二次信号15、16の衝突によりさらに二次電子16bを放出する構成である。第2の検出器151は、第1の検出器150が放出した二次電子16bを検出する。

請求項（抜粋）：

試料を保持する試料ホルダと、前記電子を加速して前記試料に向かって電子ビームを出射する電子線源と、前記電子ビームを前記試料上で走査させる走査手段と、前記電子ビームを前記試料上で収束させる対物レンズと、前記電子ビームの照射により前記試料から生じる二次電子および反射電子の少なくとも一方により構成される二次信号を検出するための検出器とを有し、前記検出器は、第1の検出器と第2の検出器とを備え、前記第1の検出器は、前記二次信号が衝突する位置に配置され、前記二次信号を検出するとともに、前記二次信号の衝突によりさらに二次電子を放出する構成であり、前記第2の検出器は、前記第1の検出器が放出した二次電子を検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28

FI (2件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-334894 出願人：株式会社日立製作所
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-306205 出願人：株式会社日立製作所
走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-275837 出願人：株式会社日立製作所

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