特許
J-GLOBAL ID:201303002220013929
パターン形成方法、アルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物、及びプリント配線板
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
本多 一郎
, 杉本 由美子
, 篠田 淳郎
, 渡耒 巧
, 大田黒 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-113859
公開番号(公開出願番号):特開2013-242348
出願日: 2012年05月17日
公開日(公表日): 2013年12月05日
要約:
【課題】熱硬化性樹脂組成物を用いて、現像によるパターンの形成ができ、かつ、硬化性に優れた硬化層を得ることができるパターン形成方法およびそれに用いる熱硬化性樹脂組成物、及びプリント配線板を提供する。【解決手段】基材上に、光塩基発生剤を含むアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程(A)、 パターン状に光照射して前記熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程(B)、及び、 アルカリ現像によりネガ型のパターン層を形成する工程(D)、を含むことを特徴とするパターン形成方法である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材に、光塩基発生剤を含むアルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成する工程(A)、
ネガ型のパターン状の光照射にて前記アルカリ現像型の熱硬化性樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化する工程(B)、及び、
アルカリ現像により未照射部を除去して、ネガ型のパターン層を形成する工程(C)、
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
IPC (3件):
G03F 7/004
, G03F 7/40
, H05K 3/28
FI (3件):
G03F7/004 503Z
, G03F7/40
, H05K3/28 C
Fターム (48件):
2H096AA26
, 2H096BA06
, 2H096EA02
, 2H096FA01
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096HA03
, 2H096HA23
, 2H096HA30
, 2H125AC19
, 2H125AC31
, 2H125AC53
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD07
, 2H125AE12P
, 2H125AE15P
, 2H125AG00P
, 2H125AM10P
, 2H125AM13P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AM52P
, 2H125AM70P
, 2H125AM80P
, 2H125AN42P
, 2H125AN94P
, 2H125AP03P
, 2H125AP08P
, 2H125AP09P
, 2H125AP10P
, 2H125BA16P
, 2H125BA20P
, 2H125BA22P
, 2H125CA13
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC12
, 2H125CD11P
, 2H125CD31
, 5E314AA25
, 5E314AA45
, 5E314BB02
, 5E314CC01
, 5E314CC15
, 5E314FF05
, 5E314FF06
, 5E314GG24
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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