特許
J-GLOBAL ID：201303002250142766

ガス流中の1種又は2種以上の自然発火性ガスの抑制方法

発明者：
アンドリュー ジェイムス スィーリー

アンドリュー ジェイムス スィーリー について

, 
ジェイムス ロバート スミス

ジェイムス ロバート スミス について


出願人/特許権者：
エドワーズ リミテッド

エドワーズ リミテッド について


代理人 (5件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  宍戸 嘉一 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-058327
公開番号（公開出願番号）：特開2001-313263
特許番号：特許第5265828号
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガス流中の1種又は2種以上の自然発火性ガスの抑制方法であって、予熱された湿った空気をガス流に導入し、ガス流を、自然発火性ガスを抑制する容器に導入することからなる上記方法において、予熱された湿った空気は、少なくとも90%の相対湿度を有し、かつ350°Cないし500°Cの温度を有することを特徴とする上記方法。
IPC (4件)：
H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  B01D 53/34 ( 200 6.01) ,  B01D 53/46 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/205 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 120 A ,  C23C 16/44 E
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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