特許
J-GLOBAL ID：201303002731586340
被加工物の切削方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-200733
公開番号（公開出願番号）：特開2013-062429
出願日： 2011年09月14日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：
【課題】斜め切りを発生させることのない被加工物の切削方法を提供する。【解決手段】粘着シート上に貼着された被加工物を切削ブレードで切削する方法であって、第1粘着シート上に被加工物の裏面側を貼着するステップと、該第1粘着シート上に貼着された被加工物の表面側から切削予定ラインに沿って第1切削ブレードで被加工物を切削して第1切削溝を形成する第1切削ステップと、該被加工物の表面側から第2切削ブレードで該第1切削溝の底部を切削して第2切削溝を形成するとともに被加工物の裏面側に残存部を形成する第2切削ステップと、該被加工物の表面側を第2粘着シート上に貼着すると共に被加工物の裏面側から前記第1粘着シートを除去して被加工物の裏面側を露出させるステップと、被加工物の裏面側から第3切削ブレードで該切削予定ラインに沿って該残存部を切削して該第2切削溝に貫通させる第3切削ステップと、からなる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
粘着シート上に貼着された被加工物を切削ブレードで切削する被加工物の切削方法であって、
第1粘着シート上に被加工物の裏面側を貼着して被加工物の表面側を露出させる貼着ステップと、
該第1粘着シート上に貼着された被加工物の表面側から切削予定ラインに沿って第1切削ブレードで被加工物を切削して第1切削溝を形成する第1切削ステップと、
該第1切削ステップを実施した後、被加工物の表面側から第2切削ブレードで該第1切削溝の底部を切削して第2切削溝を形成するとともに被加工物の裏面側に残存部を形成する第2切削ステップと、
該第2切削ステップを実施した後、被加工物の表面側を第2粘着シート上に貼着するとともに被加工物の裏面側に貼着されている第1粘着シートを被加工物の裏面上から除去して被加工物の裏面側を露出させる転写ステップと、
該転写ステップを実施した後、被加工物の裏面側から第3切削ブレードで該切削予定ラインに沿って該残存部を切削して該第2切削溝に貫通させる第3切削ステップと、
を具備したことを特徴とする被加工物の切削方法。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/78 Q
, H01L21/78 F
, H01L21/78 M
