特許
J-GLOBAL ID：201103056458439213
メカニカル検出器および測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-192999
公開番号（公開出願番号）：特開2011-043459
出願日： 2009年08月24日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：
【課題】メカニカル検出における検出対象への振動の影響が抑制できるようにする。【解決手段】同一の共振周波数を有する2つの振動子101および振動子102と、振動子101および振動子102の間で互いに振動を伝播させる相互作用部103と、振動子101および振動子102の間の位相が半周期ずれた反対称振動状態となる周波数の振動を、振動子101および振動子102に同時に加える加振部104と、振動子101および振動子102の少なくとも一方の変位を測定する振動測定部105とを備える。加振部104は、例えばPZTなどの圧電結晶膜141と、圧電結晶膜141に交流電圧を印加する交流電源142とから構成されている。加振部104では、交流電源142の出力を制御することで、圧電結晶膜141を上述した周波数で振動させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
同一の共振周波数を有する2つの振動子と、
2つの前記振動子の間で互いに振動を伝播させる相互作用手段と、
2つの前記振動子の間の位相が半周期ずれた反対称振動状態となる周波数の振動を、2つの前記振動子に同時に加える加振手段と、
2つの前記振動子の少なくとも一方の変位を測定する振動測定手段と
を備えることを特徴とするメカニカル検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (12件)
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特公平2-030449
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特表平3-501529
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広範囲圧力計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-102239
出願人：株式会社ニコン
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