特許
J-GLOBAL ID:201303007110412510

洗浄方法及び洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-273358
公開番号(公開出願番号):特開2003-080180
特許番号:特許第4721579号
出願日: 2001年09月10日
公開日(公表日): 2003年03月18日
請求項(抜粋):
【請求項1】 20°Cにおける蒸気圧が1.33×103Pa以上の非塩素系フッ素化合物である成分(a1)と20°Cにおける蒸気圧が1.33×103Pa未満の成分(b)とを含有する引火点を有さない洗浄剤(c)を利用して洗浄する方法において、 成分(a1)が、下記一般式(1)で特定される環状HFC、下記一般式(2)で特定される鎖状HFC、又は下記一般式(3)で特定されるHFEから選ばれる1種以上であり、 成分(b)が、炭化水素類、アルコール類、ケトン類、又はエーテル結合及び/又はエステル結合を有する有機化合物から選ばれる一種以上であり、 加熱槽及び/または洗浄槽中の該洗浄剤を加熱することによって得られる洗浄剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液を利用して、リンス及び/または蒸気洗浄し、 かつ、洗浄槽から移送した汚れ成分の混入した洗浄槽内容液、及び、洗浄剤蒸気を凝縮した液を蓄えたリンス槽から移送した凝集液、を接触・混合させ、洗浄剤内容液中に混入していた汚れ成分を分離除去した後、その接触・混合した液をプレリンス槽に移送し、その接触・混合した液を用いて、プレリンスすることを特徴とする洗浄方法。 CnH2n-mFm (1) (式中、4≦n≦6、5≦m≦2n-1の整数を示す) CxH2x+2-yFy (2) (式中、4≦x≦6、6≦y≦12の整数を示す) CsF2s+1OR (3) (式中、4≦s≦6、Rは炭素数1〜3のアルキル基)
IPC (4件):
B08B 3/08 ( 200 6.01) ,  C11D 7/50 ( 200 6.01) ,  C23G 3/00 ( 200 6.01) ,  H05K 3/26 ( 200 6.01)
FI (5件):
B08B 3/08 Z ,  C11D 7/50 ,  C23G 3/00 B ,  C23G 3/00 Z ,  H05K 3/26 ZAB A
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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