洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永田良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070366
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249291
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】第1溶剤(HFC、HFEまたはフッ素系溶剤など)と、第2溶剤(炭化水素系溶剤もしくはアルコールまたは双方の溶剤)とを混合貯溜した前洗浄槽の液面上部に第1溶剤の蒸気層を形成し、ワークを前洗浄槽から本洗浄槽へ移動させる時、ワーク表面に付着している第2溶剤を第1溶剤の蒸気で除去して、第2溶剤の本洗浄槽への持込み量低減を図ることができるのは勿論、第1溶剤を貯溜した本洗浄槽と、この第1溶剤の液面上部に第1溶剤の蒸気層を形成する蒸気槽とを設けて、クリーンな蒸気にてワークを蒸気洗浄し、ワークの充分な洗浄品質を確保することができる洗浄装置の提供を目的とする。【解決手段】HFC、HFEまたはフッ素系溶剤などの第1溶剤と、炭化水素系溶剤もしくはアルコールまたは双方の第2溶剤とを混合貯溜Cした前洗浄槽5の液面上部に第1溶剤の蒸気層Dが形成されてなる前洗浄部1と、第1溶剤Aを貯溜した本洗浄槽21,22と、該本洗浄槽21,22の液面上部に第1溶剤Aの蒸気層Eを形成する蒸気槽23とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

HFC、HFEまたはフッ素系溶剤などの第1溶剤と、炭化水素系溶剤もしくはアルコールまたは双方の第2溶剤とを混合貯溜した前洗浄槽の液面上部に第1溶剤の蒸気層が形成されてなる前洗浄部と、第1溶剤を貯溜した本洗浄槽と、該本洗浄槽の液面上部に第1溶剤の蒸気層を形成する蒸気槽とを備えた洗浄装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

多重溶剤クリーニング系
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-500986 出願人：アライドシグナル・インコーポレーテッド
洗浄装置及び洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-053813 出願人：三井・デュポンフロロケミカル株式会社
二液層式の超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-243740 出願人：大塚技研工業株式会社

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