特許
J-GLOBAL ID：201303007398405857
円二色性イメージング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-150380
公開番号（公開出願番号）：特開2013-015500
出願日： 2011年07月06日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：
【課題】高速且つ高精度に円二色性イメージを撮像することが可能な円二色性イメージング装置を提供する。【解決手段】円二色性イメージング装置1では、右円偏光画像を撮像するための第1の期間では、光源10からパルス光を出射しているときに、変調器30によってパルス光が右円偏光に変調され、この結果カメラ50によって撮像された画像が右円偏光画像として右円偏光画像格納部63に格納される。また、左円偏光画像を撮像する第2の期間では、光源10からパルス光を出射しているときに、変調器30よってパルス光が左円偏光に変調され、この結果カメラ50によって撮像された画像が左円偏光画像として左円偏光画像格納部63に格納される。そして、上記の結果得られた右円偏光画像と左円偏光画像とから円二色性イメージを作成・出力する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パルス光を出射するパルス光源と、
前記パルス光源から出射されたパルス光を入力し右円偏光又は左円偏光に変調させて試料に対して出射する変調手段と、
前記変調手段から出射されて前記試料により透過された透過光による画像を撮像する撮像手段と、
前記パルス光源におけるパルス光の出射タイミングと、前記変調手段における前記パルス光の前記右円偏光又は前記左円偏光への切り替えと、を制御する制御手段と、
前記撮像手段により撮像された画像のうち右円偏光画像を格納する右円偏光画像格納手段と、
前記撮像手段により撮像された画像のうち左円偏光画像を格納する左円偏光画像格納手段と、
前記右円偏光画像格納手段に格納された前記右円偏光画像と、前記左円偏光画像格納手段に格納された前記左円偏光画像との差分を求め、その結果を円二色性イメージとして出力する出力手段と、
を備え、
前記制御手段は、
第1の期間では、前記パルス光源がパルス光を出射しているときに前記変調手段により前記パルス光を右円偏光に変調させると共に、この結果前記撮像手段によって撮像された画像を前記右円偏光画像として前記右円偏光画像格納手段に格納させ、
前記第1の期間とは異なる第2の期間では、前記パルス光源がパルス光を出射しているときに前記変調手段により前記パルス光を左円偏光に変調させると共に、この結果前記撮像手段によって撮像された画像を前記左円偏光画像として前記左円偏光画像格納手段に格納させる
ことを特徴とする円二色性イメージング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
2G059AA02
, 2G059BB04
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059GG02
, 2G059HH03
, 2G059HH06
, 2G059JJ02
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059PP04
