特許
J-GLOBAL ID：201303008714257926

基板の垂直搬送装置

発明者：
西尾 仁孝

西尾 仁孝 について


出願人/特許権者：
三星ダイヤモンド工業株式会社

三星ダイヤモンド工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-096120
公開番号（公開出願番号）：特開2013-249206
出願日： 2013年05月01日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】位置決め部からチャッキング部への乗り移り時における基板の位置ずれを防止する。【解決手段】支持部材と、該支持部材上に載置された基板の位置を調整する位置決めユニットとを有する位置決めローダーと、支持部材上に載置された基板を吸着して上昇および下降させることが可能な吸着昇降ユニットと、基板をチャック部材によってチャックした状態でスクライブユニットへと搬送するチャッキング工程コンベアとを備え、位置決めローダーからチャッキング工程コンベアへの基板の載せ換えを吸着昇降ユニットの下降動作によって行なう。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
支持部材と、該支持部材上に載置された基板の位置を調整する位置決めユニットとを有する位置決めローダーと、 前記支持部材上に載置された基板を吸着して上昇および下降させることが可能な吸着昇降ユニットと、 前記基板をチャック部材によってチャックした状態でスクライブユニットへと搬送するチャッキング工程コンベアと、を備え、 前記位置決めローダーから前記チャッキング工程コンベアへの基板の載せ換えを前記吸着昇降ユニットの下降動作によって行なうことを特徴とする基板の垂直搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 49/06 ,  B65G 47/91 ,  C03B 33/03 ,  B65G 47/52
FI (4件)：
B65G49/06 A ,  B65G47/91 A ,  C03B33/03 ,  B65G47/52 A
Fターム (23件)：
3F044AA13 ,  3F044BB07 ,  3F044CA10 ,  3F044CD01 ,  3F044CD11 ,  3F072AA14 ,  3F072AA28 ,  3F072GG01 ,  3F072GG11 ,  3F072JA09 ,  3F072KA01 ,  3F072KA06 ,  3F072KA49 ,  3F072KD03 ,  3F072KE02 ,  3F072KE04 ,  4G015FA01 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FB02 ,  4G015FC02 ,  4G015FC10 ,  4G015FC14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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