特許
J-GLOBAL ID：201303011438163131
基板センサを有するキャリアヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
, 沖本 一暁
, 池田 成人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123071
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323445
特許番号：特許第4789304号
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ベースと、
前記ベースに連結され、第一のチャンバを画成する可撓性部材であって、その下面が基板受取面を形成している可撓性部材と、
通気孔又はバルブを含む基板センサ機構と、
前記ベースと前記可撓性部材との間に配置された支持プレートであって、第一センサ開口部と第二開口部とを含み、流体が前記第一チャンバから排出され、前記基板が前記基板受取面に取り付けられていない場合に、前記通気孔を覆うために又は前記バルブを作動させるために前記可撓性部材が前記第一センサ開口部中に撓むことができるように、前記第一センサ開口部は前記通気孔又は前記バルブの下に位置している、支持プレートと、
前記支持プレートと前記可撓性部材との間に位置する支持パッドであって、基板取付け手順の結果として基板と前記可撓性部材の間に位置する可能性がある流体を閉じ込めるための複数のポケットを前記可撓性部材と共同で設ける複数の開口部を有し、前記複数の開口部は前記第一センサ開口部と前記第二開口部との間の側面に沿って配置された少なくとも一つの開口部を含んでいる支持パッドと、
を備えるキャリアヘッド。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 37/04 ( 200 6.01)
H01L 21/304 622 G
, H01L 21/304 622 K
, B24B 37/04 E
