特許
J-GLOBAL ID：201303011994707213
一酸化珪素の製造装置及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小島 隆司
, 重松 沙織
, 小林 克成
, 石川 武史
, 正木 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-011611
公開番号（公開出願番号）：特開2013-121915
出願日： 2013年01月25日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：
【解決手段】二酸化珪素粉末を含む混合原料粉末を1,100〜1,600°Cの温度範囲で加熱し、一酸化珪素ガスを発生させ、該一酸化珪素ガスを1,000°C以下の基体表面に析出させる一酸化珪素の製造方法に用いられる一酸化珪素の製造装置において、1,100〜1,600°Cの一酸化珪素ガスが接触する構成部材をC/Cコンポジット材で構成したことを特徴とする一酸化珪素の製造装置。【効果】本発明の一酸化珪素の製造装置によれば、高純度な一酸化珪素を効率的かつ安定的に製造することができ、かつ、大型化も容易であり、工業的規模の生産にも十分に応えられるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部が反応室となるマッフルと、このマッフル内に配置され、二酸化珪素粉末とこれを還元する金属珪素粉末との混合物が収容される原料容器と、マッフルを取り囲んで配設され、上記反応室内を1,100〜1,600°Cに加熱・保持するヒーターと、このヒーターの外側に配置された断熱材と、上記マッフルに連結されるガス搬送管と、このガス搬送管に連結され、内部が700〜1,000°Cの温度範囲に設定される一酸化珪素析出容器とを具備し、不活性ガスもしくは減圧下1,100〜1,600°Cの温度で加熱することによって上記混合物により反応室内で発生した一酸化珪素ガスがガス搬送管を通って一酸化珪素析出容器内の析出基体に固体状一酸化珪素として析出する一酸化珪素の製造装置であって、マッフル、原料容器及びガス搬送管を、黒鉛粉末と黒鉛繊維との混合物であり、黒鉛繊維の割合が35〜60質量%であるC/Cコンポジット材で構成すると共に、析出基体をSUS、モリブデン又はタングステンにて形成してなることを特徴とする一酸化珪素の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B33/113 A
, C04B35/54 D
4G072AA24
, 4G072BB05
, 4G072BB13
, 4G072GG01
, 4G072GG03
, 4G072GG04
, 4G072HH01
, 4G072HH14
, 4G072LL03
, 4G072LL05
, 4G072MM01
, 4G072MM21
, 4G072NN06
, 4G072NN24
, 4G072RR04
, 4G072RR11
, 4G072UU15
, 4G072UU17
, 4G072UU30
, 4G132AA02
, 4G132AA72
, 4G132AB02
, 4G132BA16
, 4G132CA15
, 5H050AA19
, 5H050BA16
, 5H050CB02
, 5H050GA02
, 5H050GA27
, 5H050GA29
, 5H050HA01
, 5H050HA14
