特許
J-GLOBAL ID：201303015938401220

赤外線センサパッケージ、赤外線センサモジュール、および電子機器

発明者：
山崎 隆雄

山崎 隆雄 について

, 
倉科 晴次

倉科 晴次 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (3件)： 池田 憲保 ,  福田 修一 ,  佐々木 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-091535
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222735
出願日： 2012年04月13日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
要約：
【課題】赤外線センサ素子の性能劣化を抑制しつつ、ゲッターのガス吸着能力を維持可能な赤外線センサパッケージ、赤外線センサモジュール、および電子機器を提供すること。【解決手段】赤外線センサ素子1と、ベース基板部2と、ハウジング部3と、赤外線透過窓5と、ゲッター6aとを少なくとも備え、赤外線センサ素子1は、ベース基板部2とハウジング部3と赤外線透過窓5とによって囲まれた空間内に真空封止され、ゲッター6aは、赤外線センサ素子1とベース基板部2との間にスペーサー8を配置することによって形成された赤外線センサ素子1とベース基板部2との間の空隙9に配置され、赤外線センサ素子1とゲッター6aとの間に、遮熱部材12が配置され、遮熱部材12は、赤外線センサ素子1を加熱する加熱ヒーター、または、Niを含む合金または耐熱ガラスから少なくとも成る素子である赤外線センサパッケージ17。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
赤外線センサ素子と、前記赤外線センサ素子に電気的に接続されたベース基板部と、前記赤外線センサ素子を囲うハウジング部と、赤外線透過窓と、ゲッターとを少なくとも備え、 前記赤外線センサ素子は、前記ベース基板部と前記ハウジング部と前記赤外線透過窓とによって囲まれた空間内に真空封止されており、 前記ゲッターは、前記赤外線センサ素子と前記ベース基板部との間にスペーサーを配置することによって形成された前記赤外線センサ素子と前記ベース基板部との間の空隙に配置され、 前記赤外線センサ素子と前記ゲッターとの間に、遮熱部材が配置され、 前記遮熱部材は、前記赤外線センサ素子を加熱する加熱ヒーター、または、Niを含む合金または耐熱ガラスから少なくとも成る素子であることを特徴とする赤外線センサパッケージ。
IPC (1件)：
H01L 23/26
FI (1件)：
H01L23/26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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