特許
J-GLOBAL ID：201103097079334682
電磁波の検出及び/又は放射装置、並びにそのような装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
勝沼 宏仁
, 佐藤 泰和
, 川崎 康
, 関根 毅
, 赤岡 明
, 木本 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-134071
公開番号（公開出願番号）：特開2011-039036
出願日： 2010年06月11日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：
【課題】マイクロコンポーネントの小型化および寿命を延ばす要求を満たすとともに、電磁波の検出及び/又は放射装置の光学的特性を維持する装置を提供する。【解決手段】検出及び/又は放射装置1は、キャップ9と、密封筐体10の輪郭を描く基板3と、を備え、真空中又は減圧下の封止マイクロパッケージ7を備えている。筐体10は、基板3の上にぶらさがった電磁波に対して感度の高いメンブレイン2と、電磁波をメンブレイン2及び少なくとも1つのゲッタ20に反射する反射体17と、を備えている少なくとも1つの非冷却熱検出器及び/又は放射器1を封止する。ゲッタ20は、反射体17の第2主面19の少なくとも一部に設けられることにより、反射体/ゲッタのアセンブリ22を形成する。開放空間23は、ゲッタのアクセス可能面を切り離し、筐体10に通じるので、反射体/ゲッタのアセンブリ22と基板3の前面12との間にも形成される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
キャップ(9)と、堅固に封止された筐体(10)を画定する基板(3)と、を備える真空中又は減圧下での封止マイクロパッケージ(7)を備え、
前記筐体(10)は、
電磁波に対して感度が高く、前記基板(3)の上に懸架されたメンブレイン(2)を有する少なくとも1つの熱検出器及び/又は放射器(1)と、
前記メンブレイン(2)へ電磁波を反射するものであって、前記基板(3)の前面(12)と前記メンブレイン(2)との間に設けられた薄層の形態であって、前記メンブレイン(2)に対向する第1主面(18)と、前記基板(3)の前面(12)に対向する第2主面(19)と、を有する反射体(17)と、
少なくとも1つのゲッタ(20)と、を備える電磁波の検出及び/又は放射装置であって、
前記ゲッタ(20)は、前記反射体(17)の前記第2主面(19)の少なくとも一部の上に設けられることにより、反射体/ゲッタのアセンブリ(22)を形成し、
前記ゲッタのアクセス可能面(24)を開放して前記筐体(10)に通じる開放空間(23)が、前記反射体/ゲッタのアセンブリ(22)と前記基板(3)の前面(12)との間に形成される、
ことを特徴とする装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065BA36
, 2G065BA37
, 2G065BA38
, 2G065BB48
, 2G065BE08
