特許
J-GLOBAL ID：201303016319511735

流量制御装置、流量測定機構、又は、当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラム

発明者：
安田 忠弘

安田 忠弘 について

, 
林 繁之

林 繁之 について

, 
高橋 明人

高橋 明人 について

, 
清水 哲夫

清水 哲夫 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場エステック

株式会社堀場エステック について


代理人 (3件)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子 ,  齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-227399
公開番号（公開出願番号）：特開2013-088945
出願日： 2011年10月14日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
要約：
【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。【解決手段】流量制御装置に流路ML上に設けられた流体抵抗4と、前記流体抵抗4の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ3と、前記流体抵抗4に対して前記圧力センサ3が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部6と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部6で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部7と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部8と、を備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流路を流れる流体の流量を測定する流量測定機構と、前記流路上に設けられた流量制御バルブと、前記流量測定機構で測定される測定流量値と、目標流量値との偏差が小さくなるように前記流量制御バルブの開度を制御するバルブ制御部と、を備えた流量制御装置であって、 前記流路上に設けられた流体抵抗と、 前記流体抵抗の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサと、 前記流量測定機構で測定される測定流量値と、前記圧力センサで測定される測定圧力値と、に基づいて、前記流体抵抗に対して前記圧力センサが設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部と、 前記測定圧力値と、前記圧力算出部で算出された算出圧力値と、に基づいて前記流路を流れる流体の流量を算出する流量算出部と、 前記測定流量値と、前記流量算出部が算出する算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部と、を備えたことを特徴とする流量制御装置。
IPC (2件)：
G05D 7/06 ,  G05B 23/02
FI (2件)：
G05D7/06 Z ,  G05B23/02 T
Fターム (15件)：
5H223AA05 ,  5H223BB01 ,  5H223CC01 ,  5H223DD03 ,  5H223EE02 ,  5H223FF08 ,  5H307AA20 ,  5H307BB01 ,  5H307DD17 ,  5H307EE02 ,  5H307FF06 ,  5H307FF12 ,  5H307GG01 ,  5H307GG11 ,  5H307HH04
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM