特許
J-GLOBAL ID:201303017138068232
流量制御装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-025171
公開番号(公開出願番号):特開2013-160715
出願日: 2012年02月08日
公開日(公表日): 2013年08月19日
要約:
【課題】不具合の有無を把握可能な流量制御装置を提供する。【解決手段】流路11が設けられた流路保持体10と、流路11を流れる流体の流量を計測する流量計測部301と、流量の計測値を出力する出力部35と、流路11を流れる流体の流量を制御するための制御弁41と、制御弁41によって流路11が閉塞された場合に、出力部35が出力する流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部303と、所定の基準に従って、出力部35が出力する流量の計測値をゼロに変更することを禁止する禁止部306と、を備える流量制御装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
流路が設けられた流路保持体と、
前記流路を流れる流体の流量を計測する流量計測部と、
前記流量の計測値を出力する出力部と、
前記流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記制御弁によって前記流路が閉塞された場合に、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部と、
所定の基準に従って、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更することを禁止する禁止部と、
を備える流量制御装置。
IPC (2件):
FI (3件):
G01F1/00 T
, G01F1/00 X
, G01F1/68 B
Fターム (5件):
2F030CB04
, 2F030CB05
, 2F030CF05
, 2F030CF08
, 2F035EA08
引用特許:
審査官引用 (6件)
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-194811
出願人:株式会社堀場エステック
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ガスメータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-302177
出願人:東京瓦斯株式会社
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塗料流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-300726
出願人:トキコ株式会社
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マスフローコントローラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-062268
出願人:日立金属株式会社
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-185409
出願人:株式会社山武
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-185429
出願人:株式会社山武
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