BiMeVOx系VOCsセンサ

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：塩入明 , 塩入みか
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-078736
公開番号（公開出願番号）：特開2008-241299
特許番号：特許第4859129号
出願日： 2007年03月26日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】絶縁基板上に設けたBiMeVOx酸素イオン導電体と、 BiMeVOxの基板との反対面に設けたペロブスカイト化合物ABO3(ここにAは希土類もしくはアルカリ土類元素を,Bは遷移金属元素を表す)を電極材料とする検知極膜と、 BiMeVOxの基板との反対面に設けた参照極膜で、参照極の内部へVOCsガスが拡散する前に、VOCsガスを除去するための酸化触媒を備えたものと、基板を加熱するためのヒータ膜、とを設けたVOCsセンサ。

IPC (1件)：