特許
J-GLOBAL ID：201303018350543877
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-040863
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178879
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】本発明は、高分解能化とパターンの識別能力向上の両立を実現する走査電子顕微の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、電子ビームをモノクロ化するモノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、モノクロメータは、電子ビームを偏向する磁場発生器と、磁場発生器により偏向された電子ビームの一部を通過させるエネルギー選択絞りを備え、試料から放出される電子が前記磁場発生器が発生する磁場によって偏向される軌道上に、前記試料から放出された電子の一部を通過させる絞りと、当該絞りを通過した電子を検出する検出器を配置した走査電子顕微鏡を提案する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電子源と、当該電子源から放出された電子ビームをモノクロ化するモノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、
前記モノクロメータは、前記電子ビームを偏向する磁場発生器と、当該磁場発生器により偏向された電子ビームの一部を通過させるエネルギー選択絞りを備え、
当該モノクロメータを通過した電子ビームが試料に照射されたときに、試料から放出される電子が、前記磁場発生器が発生する磁場によって偏向される軌道上に、前記試料から放出された電子の一部を通過させる第1の絞りと、当該第1の絞りを通過した電子を検出する第1の検出器を配置することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/05
, H01J 37/244
, H01J 37/09
, H01J 37/28
H01J37/05
, H01J37/244
, H01J37/09 A
, H01J37/28 B
5C033AA05
, 5C033BB10
, 5C033NN01
, 5C033NN02
, 5C033NN10
, 5C033NP04
, 5C033NP06
, 5C033UU04
, 5C033UU10
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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