特許
J-GLOBAL ID：201303018481742913
流量制御装置、及びそれを用いた流量試験装置
出願人/特許権者：
カヤバ システム マシナリー株式会社
カヤバ システム マシナリー株式会社 について
代理人 (3件)： 後藤 政喜 , 飯田 雅昭 , 須藤 淳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-065759
公開番号（公開出願番号）：特開2013-196607
出願日： 2012年03月22日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：
【課題】流量変化が大きい場合であっても、精度の高い流量制御を実現すること。【解決手段】流体圧供給源2,4から供給される作動流体を流量制御を行いながら吐出するサーボバルブ5と、サーボバルブ5の入口圧力を検出する入口圧力検出器11と、サーボバルブ5の出口圧力を検出する出口圧力検出器12と、サーボバルブ5のスプール変位を検出する変位検出器13と、入口圧力検出器11、出口圧力検出器12、及び変位検出器13の検出結果に基づいてサーボバルブ5の吐出流量を演算し、その演算流量が予め定められた設定流量となるようにサーボバルブ5に開度指令を出力するコントローラ102と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
作動流体を供給する流体圧供給源と、
前記流体圧供給源から供給される作動流体を流量制御を行いながら吐出するサーボバルブと、
前記サーボバルブの入口圧力を検出する入口圧力検出器と、
前記サーボバルブの出口圧力を検出する出口圧力検出器と、
前記サーボバルブのスプール変位を検出する変位検出器と、
前記入口圧力検出器、前記出口圧力検出器、及び前記変位検出器の検出結果に基づいて前記サーボバルブの吐出流量を演算し、当該演算流量が予め定められた設定流量となるように前記サーボバルブに開度指令を出力するコントローラと、
を備えることを特徴とする流量制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2F030CA04
, 2F030CC01
, 2F030CE04
, 2F030CF05
, 2F030CF08
, 5H307AA15
, 5H307BB06
, 5H307BB07
, 5H307DD01
, 5H307EE02
, 5H307FF12
, 5H307FF27
, 5H307GG03
引用特許：
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