特許
J-GLOBAL ID:201303019765248427
ジャイロセンサーおよび電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
布施 行夫
, 大渕 美千栄
, 永田 美佐
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-048002
公開番号(公開出願番号):特開2013-181957
出願日: 2012年03月05日
公開日(公表日): 2013年09月12日
要約:
【課題】駆動配線と他の配線との間で発生する寄生容量を介して、他の配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサーを提供する。【解決手段】本発明に係るジャイロセンサー100は、基板10と、振動体112と、基板10上に固定され、振動体112を振動させる固定駆動電極130,132と、基板10上に固定され、振動体112の振動に応じて変化する信号を検出する固定振動検出電極160,162と、基板10上に設けられ、固定駆動電極130,132に接続された駆動配線20,21と、基板10上に設けられ、固定振動検出電極160,162に接続された振動検出配線50,51と、基板10上に設けられ、所定の電位を有する固定電位配線40と、を含み、平面視で、駆動配線20,21と振動検出配線50,51との間に、固定電位配線40が設けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
振動体と、
前記基板上に固定され、前記振動体を振動させる固定駆動電極と、
前記基板上に固定され、前記振動体の振動に応じて変化する信号を検出する固定振動検出電極と、
前記基板上に設けられ、前記固定駆動電極に接続された駆動配線と、
前記基板上に設けられ、前記固定振動検出電極に接続された振動検出配線と、
前記基板上に設けられ、所定の電位を有する固定電位配線と、
を含み、
平面視で、前記駆動配線と前記振動検出配線との間に、前記固定電位配線が設けられている、ジャイロセンサー。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105AA05
, 2F105AA06
, 2F105AA08
, 2F105BB03
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CD03
, 2F105CD05
引用特許:
出願人引用 (4件)
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静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-010693
出願人:アルプス電気株式会社, 江刺正喜
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-221734
出願人:株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-387619
出願人:株式会社デンソー
-
慣性センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-350832
出願人:株式会社日立製作所
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審査官引用 (3件)
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