特許
J-GLOBAL ID：200903095660134456

半導体装置

発明者：
勝間田 卓

勝間田 卓 について

, 
樋口 祐史

樋口 祐史 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-387619
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188924
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 入力電極のワイヤと出力電極のワイヤとの間の寄生容量を介したカップリングによる、出力信号への入力信号の回り込みを低減する。【解決手段】 半導体基板12に、相直交する2つの方向x、yへ振動可能な可動部30と、この可動部30をx方向へ振動させるために可動部30に駆動信号を入力するための駆動電極40と、可動部30のx方向への振動に基づく容量変化をモニタしモニタ信号を出力するためのモニタ電極60と、角速度Ωが印加されたときに発生する可動部30のy方向への振動に基づく容量変化を印加角速度Ωの検出信号として出力する検出電極50とが形成されており、駆動電極40のワイヤ42とモニタ電極60及び検出電極50のワイヤ52、62との間には、当該ワイヤ間を電気的に遮断する遮断用ワイヤ70が設けられている。
請求項（抜粋）：
回路基板(K1)と、半導体基板(12)とを有し、前記半導体基板には、所定方向(x、y)へ可動となっている可動部(30)と、この可動部を前記所定方向へ可動させるために前記回路基板から前記可動部に周期的な信号を入力するための入力電極(40)と、前記可動部の前記所定方向への可動に基づく容量変化を前記回路基板へ出力するための出力電極(50、60)とが形成されており、前記入力電極及び前記出力電極がそれぞれ、ワイヤ(42、52、62)により前記回路基板と電気的に接続されている半導体装置において、前記半導体基板には、前記入力電極のワイヤ(42)と前記出力電極のワイヤ(52、62)との間を容量的に遮断するために一定電位とされた遮断用ワイヤ(70)が、設けられていることを特徴とする半導体装置。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (11件)：
2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD20 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA33 ,  4M112CA36
引用特許：
審査官引用 (9件)
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