慣性センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-350832
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155489
出願日： 2005年12月05日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】慣性センサの性能を向上させる。【解決手段】4つのセンサユニットSUA1〜SUA4を支持部15eの1点を中心として上下左右に点対称に配置した。また、4つのセンサユニットSUA1〜SUA4を全ての構成要素が完全な音叉になるよう設計した。第1方向Yに隣接配置されたセンサユニットSUA1,SUA2の励振素子5,5は互いに逆位相で振動し、第2方向Xに隣接配置された他のセンサユニットSUA3,SUA4の励振素子5,5も互いに逆位相で振動する。その上、センサユニットSUA1,SUA2の励振素子5,5と、他のセンサユニットSUA3,SUA4の励振素子5,5とが、位相を90度ずらした状態で同期して動作する。これにより、励振方向と検出方向との振動結合と、励振エネルギー、コリオリ力の漏れ(損失)を低減または防止することができる。【選択図】図14

請求項（抜粋）：

厚さ方向に互いに反対側に位置する第1主面および第2主面を有する基板と、前記基板の第1主面内に配置されたセンサユニットとを備え、前記センサユニットは、前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された励振素子と、前記励振素子を励振方向に振動させる励振手段と、前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記励振素子に連結され、前記励振素子の振動と同振幅および同位相で励振方向に振動し、かつ、コリオリ力によって前記励振方向に対して交差する検出方向に振動するコリオリ素子と、前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記コリオリ素子に連結され、前記コリオリ素子の検出方向の振動と同振幅および同位相で検出方向に振動する検出素子と、前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置され、前記コリオリ素子の励振方向の振動には影響を受けず、前記コリオリ素子の検出方向の振動には追従するように、前記検出素子を前記基板に固定する梁と、前記検出素子の検出方向への振動を印加された角速度として検出する検出手段とを備え、前記検出素子は、前記梁を介して前記センサユニットの外部に配置された支持部に接続され、前記基板に固定されていることを特徴とする慣性センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L29/84 Z

Fターム (19件)：

2F105BB03 , 2F105BB20 , 2F105CC01 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA31 , 4M112CA32 , 4M112DA18 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第3077077号
ヨーレートセンサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-566605 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
特許第3589182号

審査官引用 (9件)

ヨーレートセンサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-566605 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-203560 出願人：アイシン精機株式会社
慣性レートセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-026017 出願人：ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド

全件表示

前のページに戻る