特許
J-GLOBAL ID：201303020219824466
ガラスディスクの表面平坦化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安彦 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-003733
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142052
出願日： 2012年01月12日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】CMPやエッチングガスを用いることなくガラスディスクの外周面にナノスケールの平坦性を短時間で実現することを可能とする方法を提供する。【解決手段】ガラスディスク1の外周面13を平坦化するためのガラスディスク1の表面平坦化方法において、前記ガラスディスク1の外周面13に光吸収性材料を塗布して光吸収性膜2を形成する塗布工程と、前記光吸収性膜2に対する光照射範囲41を前記ガラスディスク1の周方向に沿って相対的に等速移動させた状態のまま当該光吸収性膜2に対して連続波レーザー光を照射する連続照射工程とを有し、前記連続照射工程では、前記光吸収性膜2における連続波レーザー光の光吸収により前記ガラスディスク1の外周部に熱応力を発生させ、前記熱応力に基づいて前記ガラスディスク1の外周部13を周方向に沿って破断させることを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ガラスディスクの外周面を平坦化するためのガラスディスクの表面平坦化方法において、
前記ガラスディスクの外周面に光吸収性材料を塗布して光吸収性膜を形成する塗布工程と、
前記光吸収性膜に対する光照射範囲を前記ガラスディスクの周方向に沿って相対的に等速移動させた状態のまま当該光吸収性膜に対して連続波レーザー光を照射する連続照射工程とを有し、
前記連続照射工程では、前記光吸収性膜における連続波レーザー光の光吸収により前記ガラスディスクの外周部に熱応力を発生させ、前記熱応力に基づいて前記ガラスディスクの外周部を周方向に沿って破断させること
を特徴とするガラスディスクの表面平坦化方法。
IPC (3件)：
C03B 33/09
, C03B 33/04
, G11B 5/84
C03B33/09
, C03B33/04
, G11B5/84 A
4G015FA01
, 4G015FA06
, 4G015FB01
, 4G015FB02
, 4G015FC02
, 4G015FC05
, 4G015FC10
, 5D112AA02
, 5D112AA24
, 5D112BA03
, 5D112BA09
, 5D112GA02
, 5D112GA19
, 5D112GB01
