特許
J-GLOBAL ID：201303020706601863

ターゲット供給装置

発明者：
石原 孝信

石原 孝信 について

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西坂 敏博

西坂 敏博 について

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染谷 浩

染谷 浩 について

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若林 理

若林 理 について


出願人/特許権者：
ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056342
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191699
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】ターゲット生成器が破損した場合でも、ターゲット生成器周辺の装置の損傷を抑制し得るターゲット供給装置を提供すること。【解決手段】ターゲット供給装置7Aは、第1の材料で筒状に形成されたタンク711Aと、前記第1の材料よりも引張り強さの大きい第2の材料で形成され、前記タンク711Aを覆う筒状部911Aと、前記筒状部911Aの軸方向の一端側に設けられ、第2の材料で形成され、挿通孔915Aを備える下面部912Aと、前記筒状部911Aの軸方向の他端側に設けられ、第2の材料で形成された蓋部材92Aと、前記タンク711A内部と連通するように、且つ前記挿通孔915Aを挿通するように設置され、第1の材料で形成されたノズル712Aと、を含んでもよい。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の材料で筒状に形成されたタンクと、 前記第1の材料よりも引張り強さの大きい第2の材料で形成され、前記タンクを覆う筒状部と、 前記筒状部の軸方向の一端側に設けられ、第2の材料で形成され、挿通孔を備える第1蓋部と、 前記筒状部の軸方向の他端側に設けられ、第2の材料で形成された第2蓋部と、 前記タンク内部と連通するように、且つ前記挿通孔を挿通するように設置され、第1の材料で形成されたノズルと、を含むターゲット供給装置。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (1件)：
H01L21/30 531S
Fターム (3件)：
5F146GA21 ,  5F146GC12 ,  5F146GC14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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