ジェットノズル

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：宇都宮正明 , 渡部温 , 柳瀬睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077389
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268461
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】容易にメンテナンス可能であり、メンテナンスのコストを抑えることができるジェットノズルを提供する。【解決手段】このジェットノズルは、極端紫外光を発生する光源装置において用いられ、極端紫外光を発生するためにレーザビームが照射されるターゲットとなるターゲット物質を放出するためのジェットノズルであって、内部に第1の流路が形成され、第1の流路の一端に供給されるターゲット物質を第1の流路の他端から放出するためのターゲット放出部11と、内部に第2の流路と冷却室とが形成され、第2の流路の一端に供給されるターゲット物質を冷却して第2の流路の他端からターゲット放出部に供給するための支持部12と、第1の流路と第2の流路とが連通するように、ターゲット放出部を支持部に着脱可能に固定する固定手段13、14とを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

極端紫外光を発生する光源装置において用いられ、極端紫外光を発生するためにレーザビームが照射されるターゲットとなるターゲット物質を放出するためのジェットノズルであって、内部に第1の流路が形成され、前記第1の流路の一端に供給されるターゲット物質を前記第1の流路の他端から放出するためのターゲット放出部と、内部に第2の流路と冷却室とが形成され、前記第2の流路の一端に供給されるターゲット物質を冷却して前記第2の流路の他端から前記ターゲット放出部に供給するための支持部と、前記第1の流路と前記第2の流路とが連通するように、前記ターゲット放出部を前記支持部に着脱可能に固定する固定手段と、を具備するジェットノズル。

IPC (4件)：

H01L21/027 , G21K5/08 , H05G2/00 , H05H1/24

FI (5件)：

H01L21/30 531S , G21K5/08 X , G21K5/08 Z , H05H1/24 , H05G1/00 K

Fターム (8件)：

4C092AA06 , 4C092AA14 , 4C092AA15 , 4C092AB11 , 4C092AC09 , 4C092BD17 , 4C092BD19 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

レーザープラズマ極紫外放射線源のためのノズル及び極紫外放射線の発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-130462 出願人：ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド

審査官引用 (8件)

散水栓
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-174424 出願人：三宅正治, 三宅一也
レーザープラズマ極紫外放射線源のためのノズル及び極紫外放射線の発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-130462 出願人：ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
ターゲットエミッタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-387002 出願人：株式会社小松製作所

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