慣性力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：内藤浩樹 , 藤井兼太郎 , 寺内伊久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-287085
公開番号（公開出願番号）：特開2013-101132
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】本発明は、外乱振動を抑制して検出精度を損なわずに小型化した慣性力センサを提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の慣性力センサは、角速度検出素子61と、この角速度検出素子61を上面に中空保持する載置部63とこの載置部63に配線パターン64を介して接続された外方部65とからなる防振手段62と、角速度検出素子61からの出力信号を処理するIC67と、角速度検出素子61、防振手段62およびIC67を収納するパッケージ68とを備え、パッケージ68の内底面に加速度検出手段66を設けたものである。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

角速度検出素子と、この角速度検出素子を上面に中空保持する載置部とこの載置部に配線パターンを介して接続された外方部とからなる防振手段と、前記角速度検出素子からの出力信号を処理するICと、前記角速度検出素子、防振手段およびICを収納するパッケージとを備え、前記パッケージの内底面に加速度検出手段を設けた慣性力センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/562 , G01P 15/08 , H01L 25/00 , G01P 1/02

FI (4件)：

G01C19/56 128 , G01P15/08 P , H01L25/00 B , G01P1/02

Fターム (10件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA06 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105BB17 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

物理量センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-260730 出願人：株式会社デンソー
センサユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-223509 出願人：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所
センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-188629 出願人：松下電工株式会社

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