特許
J-GLOBAL ID：201303021546147768

酸化亜鉛系焼結体およびその製造方法

発明者：
中田 邦彦

中田 邦彦 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-055906
公開番号（公開出願番号）：特開2013-189331
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】 低抵抗の透明導電膜を安定して成膜することが可能な、ZnOを主成分とし、金属亜鉛が分散された酸化亜鉛系焼結体、酸化亜鉛系焼結体の製造方法、ターゲット、酸化亜鉛系透明導電膜の形成方法および透明導電性基板を提供する。 【解決手段】実質的に亜鉛、ドーパントおよび酸素からなる酸化亜鉛系焼結体であって、前記ドーパントは亜鉛よりイオン化傾向の高いTiなどの金属であり、金属亜鉛が偏析することなく、焼結体中に均一に分散している。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
実質的に亜鉛、ドーパントおよび酸素からなる酸化亜鉛系焼結体であって、金属亜鉛が偏析することなく焼結体中に均一に分散していることを特徴とする、酸化亜鉛系焼結体。
IPC (5件)：
C04B 35/453 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 ,  H01B 5/14
FI (5件)：
C04B35/00 P ,  C23C14/08 C ,  C23C14/34 A ,  H01B13/00 503B ,  H01B5/14 A
Fターム (26件)：
4G030AA16 ,  4G030AA32 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030GA04 ,  4G030GA22 ,  4G030GA24 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4G030GA31 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04 ,  5G323BB05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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