特許
J-GLOBAL ID:201303021886942724

点状対象物の3次元位置決め用の顕微鏡装置および顕微鏡法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 藤田 アキラ ,  今井 秀樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-191312
公開番号(公開出願番号):特開2013-057938
出願日: 2012年08月31日
公開日(公表日): 2013年03月28日
要約:
【課題】点状対象物の3次元位置決め用の顕微鏡装置と顕微鏡法を提供する。【解決手段】顕微鏡装置には、点状対象物を、焦点配光40、40’の形態で2つの別個の画像空間に結像する2つの結像光学系26、26’と、且つそれぞれの画像空間で配置された検出面27、27’の検出点にて、分析可能な光点を捕捉する2つの検出ユニット28、28’と、2つの検出面27、27’の検出点を相互にペアで対応させ、且つ2つの光点を分析することによって点状対象物の横方向x-y位置および軸方向z位置を確認する評価ユニットと、が含まれる。2つの結像光学系には、それぞれの検出ユニットの検出面に垂直な検出軸に対して、それぞれの焦点配光を斜めに向ける光学手段が含まれる。2つの焦点配光の傾斜が相互に反対であることにより、点状対象物のz位置の変化に応じて2つの光点が、反対方向にシフトする。【選択図】図4
請求項(抜粋):
点状対象物(14、16)の3次元位置決め用の顕微鏡装置(10)であって、2つの結像光学系(12、26、26’)と、2つの検出ユニット(28、28’)と、評価ユニット(60)とを備えて構成され、 前記2つの結像光学系は、対象物空間(18)に位置する同一の点状対象物(14、16)を、それぞれ焦点配光(40、40’、42、42’)の形態で2つの別個の画像空間(34)に結像するものであり、 前記2つの検出ユニットは、前記2つの結像光学系(12、26、26’)の1つにそれぞれ割り当てられ、且つ前記それぞれの焦点配光(40、40’、42、42’)を通して、平面断面を表す前記それぞれの画像空間(34)に配置された検出面(27、27’)の検出点に、分析可能な光点(54、54’)を捕捉するものであり、 前記評価ユニットは、前記2つの検出面(27、27’)の前記検出点を相互にペアで対応させ、且つこの画像点対応を考慮して2つの光点(54、54’)を分析することによって、前記対象物空間(18)に存在する対象物平面内の前記点状対象物(14、16)の横方向x-y位置、および前記対象物平面に垂直に配置された光軸(O1)の方向における前記点状対象物(14、16)の軸方向z位置を確認するものであり、 前記2つの結像光学系(12、26、26’)のそれぞれが、前記それぞれの結像光学系(12、26、26’)に設けられ且つ前記それぞれの検出ユニット(28、28’)の前記検出面(27、27’)に垂直に配置された検出軸(36)に対して、前記それぞれの焦点配光(40、40’、42、42’)を斜めに向ける光学手段(26、26’)を含み、 前記光学手段(26、26’)によって生成された前記2つの焦点配光(40、40’、42、42’)の傾斜が相互に反対であって、前記検出点対応を考慮すると、前記2つの光点(54、54’)がそれらの前記それぞれの検出面(27、27’)における前記点状対象物(14、16)のz位置の変化に応じて反対方向にシフトしており、 前記評価ユニット(60)が、前記2つの光点(54、54’)の相対的位置に基づいて、前記点状対象物(14、16)の前記軸方向z位置を確認する、顕微鏡装置(10)。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G02B21/00 ,  G01B11/00 H
Fターム (23件):
2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065BB30 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF05 ,  2F065FF10 ,  2F065GG09 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ25 ,  2H052AA09 ,  2H052AB14 ,  2H052AB24 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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