特許
J-GLOBAL ID：201303022105149273
描画装置、描画方法および描画プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062772
公開番号（公開出願番号）：特開2013-196376
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：
【課題】積層基板における電圧降下の様子を容易に把握すること。【解決手段】描画装置10は、測定部14bと、描画部14cとを有する。測定部14bは、積層基板における各層のプレーンの電圧を測定する。描画部14cは、測定部14bにより測定されたプレーンの電圧を、一方の軸を電圧とし、他方の軸を層とするグラフに描画する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
積層基板における各層のプレーンの電圧を測定する測定部と、
前記測定部により測定されたプレーンの電圧を、一方の軸を電圧とし、他方の軸を層とするグラフに描画する描画部と
を有することを特徴とする描画装置。
IPC (4件)：
G06F 17/50
, G06T 11/20
, H01L 21/82
, H05K 3/00
G06F17/50 672R
, G06T11/20 120
, H01L21/82 C
, H05K3/00 T
5B046AA08
, 5B046BA04
, 5B046JA03
, 5B080EA04
, 5F064AA17
, 5F064DD14
, 5F064EE52
, 5F064HH01
, 5F064HH06
, 5F064HH10
, 5F064HH15
