特許
J-GLOBAL ID:201303022195419622

塗布装置、及び部品実装システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-042683
公開番号(公開出願番号):特開2013-179199
出願日: 2012年02月29日
公開日(公表日): 2013年09月09日
要約:
【課題】塗布ノズルの高速移動を実現するためモータを大型化しても、それに伴う重量の増加により駆動負荷が増大せず、塗布ノズルの高速移動が可能な塗布装置、及び部品実装システムを提供する。【解決手段】第1駆動機構がベースプレート10に接続された第1駆動用モータ20、リンク手段50、摺動部材30、回転支持部材60によって構成される。第1駆動用モータ20がθ1回転した時、平行リンク機構によりリンク50eは-X方向に移動する。更に、リンク50dは摺動部材30の可動部32の摺動により+Z方向にsだけ平行移動する。したがって第1駆動用モータ20の軸が、回転体の運動をペースト塗布のための2つの運動に変換される。【選択図】図6
請求項(抜粋):
基板に材料を塗布する塗布装置において、 ペースト状の材料を塗布するための塗布部と、 前記塗布部を前記基板に対して移動させる第1の移動部と、を有し、 前記第1の移動部は、 回転体と、 前記回転体の回転を前記塗布部が行う前記基板に対する第1の方向についての第1の運動、及び前記第1の方向と交差する第2の方向についての第2の運動に変換する変換機構と、を有することを特徴とする塗布装置。
IPC (1件):
H01L 21/52
FI (1件):
H01L21/52 G
Fターム (4件):
5F047BA00 ,  5F047BB11 ,  5F047FA21 ,  5F047FA22
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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