特許
J-GLOBAL ID:201303022540457591

X線検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-124727
公開番号(公開出願番号):特開2013-250136
出願日: 2012年05月31日
公開日(公表日): 2013年12月12日
要約:
【課題】焦点サイズの等しいフィラメントを複数有するX線管を備えた構成において、フィラメントの吸着ガスを除去するためのフラッシングを不要とするとともに、フィラメントに必要以上の電流が流れてフィラメントが断線することを防止することができるX線検査装置を提供すること。【解決手段】X線検査装置1は、焦点サイズが互いに等しい複数のフィラメントのうち1つのフィラメントに電力を供給するよう回路を切り替えるフィラメント切り替え部75と、複数のフィラメント毎に使用時間を含む使用状況を記憶するアワーメーター47と、アワーメーター47に記憶された複数のフィラメント毎の使用時間に偏りが生じないよう複数のフィラメントから1つのフィラメントを選択し、選択されたフィラメントに電力を供給するよう所定のタイミングでフィラメント切り替え部75を制御するフィラメント選択部48と、を備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
焦点サイズが互いに等しい複数のフィラメント(F1、F2、F3)を陰極に有するX線管(12)を備え、前記X線管から照射されたX線を被検査物(W)に透過させて該被検査物を検査するX線検査装置(1)であって、 前記複数のフィラメントのうち1つのフィラメントに電力を供給するよう回路を切り替えるフィラメント切り替え手段(75)と、 前記複数のフィラメント毎に使用時間を含む使用状況を記憶する使用状況記憶手段(47)と、 前記使用状況記憶手段に記憶された複数のフィラメント毎の使用時間に偏りが生じないよう前記複数のフィラメントから1つのフィラメントを選択し、選択されたフィラメントに電力を供給するよう所定のタイミングで前記フィラメント切り替え手段を制御するフィラメント選択手段(48)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。
IPC (2件):
G01N 23/04 ,  H05G 1/52
FI (2件):
G01N23/04 ,  H05G1/52 D
Fターム (12件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  4C092AA01 ,  4C092AB19 ,  4C092AC08 ,  4C092CF16 ,  4C092CF37 ,  4C092DD20
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • X線装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-286669   出願人:株式会社東芝, 東芝電子管デバイス株式会社
  • X線装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-307635   出願人:株式会社島津製作所
  • X線管装置及びそれを用いたX線装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2009-095949   出願人:株式会社島津製作所

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