特許

J-GLOBAL ID：201303023058331056

基板処理システム、外部接続装置及び基板処理装置のデータ処理方法

発明者： 槙谷 雅広 ,  小山 良崇 ,  山口 英人
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-246242
公開番号（公開出願番号）：特開2013-058780
出願日： 2012年11月08日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：

【課題】装置の動作の詳細を把握することが可能な基板処理システムを提供する。【解決手段】基板処理システムを構成する基板処理装置において、基板処理装置内部において発生する事象を外部に出力し、外部接続装置により事象に時刻を付して記録、加工、編集、表示することにより、基板処理装置の生産性向上手法の方向を指標すると共に、実施施策の効果が確認できる外部接続装置を備えたものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を処理する基板処理装置と該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、 前記外部接続装置は、 前記基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に事象コードを予め設定して、前記事象コードと前記抽出すべき事象との対応付けをする設定手段と、 前記事象コードが設定された事象の各々が発生する時刻を前記設定された事象と関連づけて事象データを作成する作成手段と、 前記事象コードに対応する所望の二つの事象及び前記二つの事象間の動作の所要時間に、時間コードを設定して、時間コードと前記二つの事象と前記所要時間との対応付けを行う時間コード設定手段と、 前記事象データ、時間コードを記憶する記憶手段と、 を有する基板処理システム。

IPC (1件)：

H01L 21/02

FI (1件)：

H01L21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 状態出力装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-286941   出願人：国際電気株式会社
• 製造管理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-141371   出願人：株式会社ニコン