特許
J-GLOBAL ID：200903009497672972
状態出力装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-286941
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121319
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 固体デバイス製造装置に異常が発生した場合、異常の発生時期や発生箇所等を常に容易に特定することができるようにする。【解決手段】 状態データ収集部31は、半導体デバイス製造装置の状態を示す状態データを収集し、収集データ蓄積部32は、この収集データを順次蓄積する。表示データ生成部33は、状態データ収集部31の収集データに基づいて、装置の現在状態表示データを生成するとともに、収集データ蓄積部32の蓄積データに基づいて、装置の状態推移表示データを生成する。現在状態表示データ記憶部34は、現在状態表示データを記憶し、状態推移表示データ記憶部35は、状態推移表示データを記憶する。表示部36は、装置の現在状態や状態推移を画像表示し、表示制御部37は、表示データ記憶部34,35の記憶データに基づいて、表示部36の表示動作を制御する。
請求項（抜粋）：
固体デバイス製造装置の現在の状態を示す状態データを収集する状態データ収集手段と、この状態データ収集手段により収集された状態データを順次蓄積する収集データ蓄積手段と、前記状態データ収集手段により収集された状態データに基づいて、前記固体デバイス製造装置の現在の状態を出力する現在状態出力手段と、前記データ蓄積手段に蓄積されている収集データに基づいて、前記固体デバイス製造装置の状態の推移を出力する状態推移出力手段とを備えたことを特徴とする状態出力装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, G06F 3/00 652
H01L 21/02 Z
, G06F 3/00 652 C
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
