特許
J-GLOBAL ID：201303023131830473
音響センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-059466
公開番号（公開出願番号）：特開2012-135041
特許番号：特許第5267697号
出願日： 2012年03月15日
公開日（公表日）： 2012年07月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板に固定され、かつ、音圧に感応する振動電極板と、
基板に固定され、かつ、前記振動電極板と空隙を介して対向した対向電極板と、
を有する音響センサにおいて、
前記振動電極板又は前記対向電極板の前記空隙側の面に複数の突起を設け、
前記振動電極板又は前記対向電極板における突起形成領域に応じて隣接する突起どうしの間隔を変化させ、
前記振動電極板又は前記対向電極板のうち前記突起を設けた側の電極板において、前記振動電極板の柔軟性の高い領域又は前記柔軟性の高い領域に対向する前記対向電極板の対向領域における隣接する突起どうしの間隔が、前記振動電極板の柔軟性の低い領域又は前記柔軟性の低い領域に対向する前記対向電極板の対向領域における隣接する突起どうしの間隔よりも小さいことを特徴とする音響センサ。
IPC (4件)：
H04R 19/00 ( 200 6.01)
, H04R 19/04 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
H04R 19/00 330
, H04R 19/04
, H01L 29/84 Z
, B81B 3/00
