特許
J-GLOBAL ID：201303023238223600
シート剥離装置及び剥離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-110325
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239509
出願日： 2012年05月14日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：
【課題】剥離用テープを弛まないように付勢し、意図しない箇所に剥離用テープが接着してしまうことがないシート剥離装置及び剥離方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハWFに貼付された接着シートASに剥離用テープPTを貼付して引っ張ることで接着シートASを剥離するシート剥離装置10。この装置は、ウエハWを支持する支持手段11と、剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、剥離用テープPTの先端側部分を保持する保持手段14と、剥離用テープPTを接着シートASに貼付する貼付手段15と、支持手段11と保持手段14とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段17と、剥離用テープPTに張力を付与する弛み防止手段18を備え、当該弛み防止手段18は、剥離用テープPTに張力を付与して弛みを規制して接着シートAS以外の領域に付着することを防止する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに臨む位置に剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離用テープの一部を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段と、
前記支持手段と保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記保持手段と接着シートとの間に延在する剥離用テープに張力を付与して剥離用テープが接着シート以外の領域に付着することを回避する弛み防止手段を更に備えたことを特徴とするシート剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (21件)：
5F131AA02
, 5F131BA53
, 5F131CA09
, 5F131CA38
, 5F131DA13
, 5F131EA07
, 5F131EA14
, 5F131EA17
, 5F131EA22
, 5F131EB01
, 5F131EC33
, 5F131EC34
, 5F131EC37
, 5F131EC44
, 5F131EC63
, 5F131EC64
, 5F131EC66
, 5F131EC68
, 5F131EC69
, 5F131EC76
, 5F131EC77
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (3件)
前のページに戻る
