特許
J-GLOBAL ID：201303023343027751

多層電極を有する薄板状セラミック及び製造方法

発明者：
ヴィンセント イー バークハート

ヴィンセント イー バークハート について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (4件)： 中村 稔 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-104115
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007190
特許番号：特許第5004376号
出願日： 2000年02月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】セラミック本体と電極を備えた静電チャックであって、 セラミック本体と、該セラミック本体に埋め込まれた複数の平行に間隔をおいた電極であって、少なくとも1つの電力供給される電極と、該少なくとも1つの電力供給される電極の上に配置される少なくとも1つのフローティング電極とを有する、前記複数の平行に間隔をおいた電極と、 前記セラミック本体の内側に部分的に延びて、交差し、前記電力供給される電極に電気的に接続される電気コネクタと を備えたことを特徴とする静電チャック。
IPC (5件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/203 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  H01R 9/16 ( 200 6.01) ,  H01R 43/20 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/205 ,  H01R 9/16 101 ,  H01R 43/20 Z
引用特許：
審査官引用 (5件)
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