特許
J-GLOBAL ID：201303024277075932

振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器

発明者：
菊島 正幸

菊島 正幸 について

, 
石井 昌宏

石井 昌宏 について

, 
大澤 征司

大澤 征司 について

, 
菊池 尊行

菊池 尊行 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-046266
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181856
出願日： 2012年03月02日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】振動モレ現象によって生じる駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対する影響を防止し、振動特性を向上させた振動片を提供する。【解決手段】振動体と、前記振動体から延出している少なくとも2つの梁と、前記梁のそれぞれが連結されている連結梁と、前記連結梁と連結され、前記振動体を支持している支持部と、を備え、前記梁は、前記振動体と前記支持部との間に、第1方向に沿って向き合うように折り返された第1折返し部と、前記第1方向に交差する第2方向に沿って向き合うように折り返された第2折返し部と、を含み形成されていることを特徴とする振動片。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
振動体と、 前記振動体から延出している少なくとも2つの梁と、 前記梁のそれぞれが連結されている連結梁と、 前記連結梁と連結され、前記振動体を支持している支持部と、を備え、 前記梁は、 前記振動体と前記支持部との間に、 第1方向に沿うように折り返された第1折返し部と、 前記第1方向に交差する第2方向に沿うように折り返された第2折返し部と、を備えていることを特徴とする振動片。
IPC (4件)：
G01C 19/560 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09
FI (4件)：
G01C19/56 107 ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 C
Fターム (10件)：
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB09 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM