特許
J-GLOBAL ID：201203027719470854

振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器

発明者：
渡辺 潤

渡辺 潤 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-178377
公開番号（公開出願番号）：特開2012-037404
出願日： 2010年08月09日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：
【課題】優れた耐衝撃性および優れた検知能力を発揮することのできる振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器を提供すること。【解決手段】振動ジャイロ素子2は、基部31と、互いに離間して設けられた第1駆動振動系39aおよび第2駆動振動系39bを有する本体部3と、本体部3を支持する支持部4とを有している。支持部4は、本体部3の周囲の少なくとも一部を囲むように設けられた基体41を有し、基体41の第1駆動振動系39aの第2駆動振動系39bと反対側の部位にてパッケージ5に固定される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基部と、互いに離間して設けられた第1駆動振動系および第2駆動振動系を有する本体部と、 前記本体部を支持する支持部とを有し、 前記支持部は、前記本体部の周囲の少なくとも一部を囲むように設けられた基体を有し、前記基体の前記第1駆動振動系の前記第2駆動振動系と反対側の部位にて固定対象物に固定されることを特徴とする振動ジャイロ素子。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08
FI (5件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z
Fターム (9件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB17 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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