圧電振動片、圧電振動片の支持構造、圧電振動子及び振動型圧電ジャイロスコープ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-122906
公開番号（公開出願番号）：特開2005-062160
出願日： 2004年04月19日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】安定した駆動振動や検出振動が保たれる圧電振動片、圧電振動片の支持構造、圧電振動子及び振動型圧電ジャイロスコープを提供する。【解決手段】圧電振動片10は、基部12と、基部12から同一平面内に放射状に延出される複数の駆動振動腕16-1〜16-4と、検出振動腕20-1,20-2とを備え、前記振動腕の間に基部12から延出される複数の弾性を有する第1の梁32-1〜32-4と、少なくとも、前記梁の先端部に形成される第1の支持部30-1〜30-4と、が形成されている。前述の駆動振動腕及び検出振動腕には電極パターンが形成されて、半導体装置80に接続され駆動される。この圧電振動片10は、ベース部材82と蓋部材84で構成される容器内に収納されて、圧電振動子200、振動型圧電ジャイロスコープ90が構成され、安定した駆動振動や検出振動が保たれる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、該基部から同一平面内に放射状に延出される複数の振動腕と、前記振動腕の間に前記基部から延出される複数の弾性を有する第1の梁と、少なくとも、前記梁の先端部に形成される第1の支持部と、が形成されていることを特徴とする圧電振動片。

IPC (8件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H9/09 , H03H9/17

FI (8件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H03H9/09 , H03H9/17 H , H01L41/08 C , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z

Fターム (20件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105BB14 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13 , 5J108AA06 , 5J108BB02 , 5J108BB03 , 5J108CC01 , 5J108CC09 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108GG03 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (1件)

振動型ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-188563 出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (14件)

振動型ジャイロスコープ、これに使用する振動子、振動子の振動の解析方法、振動子の支持方法および振動型ジャイロスコープの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-179777 出願人：日本碍子株式会社
振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-306434 出願人：日本碍子株式会社
振動子の支持構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-165807 出願人：株式会社村田製作所

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