特許
J-GLOBAL ID：201303028650758749
波面測定装置および波面測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250678
特許番号：特許第4921644号
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検光学系の波面を測定する波面測定装置であって、
該波面測定装置は光源と、参照光を生じる参照部材が配置された参照光路と、前記被検光学系が配置される被検光路とを有し、
該被検光路の前記被検光学系の前記光源とは反対側には、肉厚と凸面の曲率半径が略等しい平凸形状の光学部材が前記被検光学系側に平面を向けて配置され、
前記被検光学系と前記平凸形状の光学部材の間を媒質で満して測定を行い、
前記被検光学系と前記平凸形状の光学部材の間にある媒質の屈折率をnmed、前記平凸形状の光学部材の屈折率をnopt、曲率半径をr、肉厚をdとした時、以下の条件(3)を満足することを特徴とする波面測定装置。
|nmed-nopt|×|r-d|≦0.01mm (3)
IPC (3件)：
G01M 11/02 ( 200 6.01)
, G01J 9/02 ( 200 6.01)
, G01M 11/00 ( 200 6.01)
G01M 11/02 B
, G01J 9/02
, G01M 11/00 L
