特許
J-GLOBAL ID：201303029560404030

大面積パネル用の搬送プレート

発明者：
リ,ジェスン

リ,ジェスン について


出願人/特許権者：
リ,ジェスン

リ,ジェスン について


代理人 (1件)： ▲吉▼川 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108847
公開番号（公開出願番号）：特開2013-227151
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：
【課題】薄板大面積の各種パネルの移送時においてパネル局部の垂れ下がり現象を抑えて、平坦度が維持する。【解決手段】一面に外部から供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバ13が形成された下板10と、前記下板10の上部に具備され、前記エアチャンバ13からエアの供給を受けて分岐させるエアロード21が複数形成されたエア分岐板20と、前記エア分岐板20の上部に具備され、前記エアロード21からエアの供給を受けて上側に噴出するエア孔33が形成された上板30とを含み、前記エアロード21は、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード21a及び該遅延ロードに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード21bからなる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
一面に外部から供給を受けたエアが満たされる溝状のエアチャンバ13が形成された下板10と、 前記下板10の上部に具備され、前記エアチャンバ13からエアの供給を受けて分岐させるエアロード21が複数形成されたエア分岐板20と、 前記エア分岐板20の上部に具備され、前記エアロード21からエアの供給を受けて上側に噴出するエア孔33が形成された上板30とを含み、 前記エアロード21は、エアが速く流動されるように狭い隙間を形成してなる急速ロード21a、及び該急速ロード21aに対して相対的に遅い速度でエアが流動されるように抵抗要素を有する遅延ロード21bで構成されたことを特徴とする大面積パネル用の搬送プレート。
IPC (3件)：
B65G 51/03 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/677
FI (4件)：
B65G51/03 E ,  B65G51/03 A ,  B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A
Fターム (8件)：
5F131AA03 ,  5F131AA12 ,  5F131AA32 ,  5F131CA07 ,  5F131CA32 ,  5F131DA02 ,  5F131DA42 ,  5F131DC13
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-180124   出願人：ソニー株式会社
  • 特開昭63-225028
  • 非接触ワーク支持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-109598   出願人：ニッタ・ムアー株式会社

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