特許

J-GLOBAL ID：201303030488200717

感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置及び有機EL表示装置

発明者： 安藤 豪
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 野口 恭弘 ,  深海 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033770
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210616
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】感度、硬化後の比誘電率、及び、ベーク後のパターンの解像度に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(成分A)(1)又は(2)を満たす樹脂、(成分B)光酸発生剤、(成分C)中空粒子、並びに、(成分D)溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位及び(a2)架橋性基を有する構成単位を少なくとも有するアクリル樹脂 (2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有するアクリル樹脂及び(a2)架橋性基を有する構成単位を有するアクリル樹脂。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(成分A)下記(1)又は(2)を満たす樹脂、 (成分B)光酸発生剤、 (成分C)中空粒子、並びに、 (成分D)溶剤、を含有することを特徴とする 感光性樹脂組成物。 (1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位及び(a2)架橋性基を有する構成単位を少なくとも有するアクリル樹脂 (2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有するアクリル樹脂及び(a2)架橋性基を有する構成単位を有するアクリル樹脂

IPC (5件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  C08F 220/10

FI (6件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  C08F220/10

Fターム (94件)：

2H125AC23 ,  2H125AC33 ,  2H125AE03P ,  2H125AE06P ,  2H125AE12P ,  2H125AE13P ,  2H125AE14P ,  2H125AE15P ,  2H125AE18P ,  2H125AF05P ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF52P ,  2H125AF53P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH12 ,  2H125AJ02Y ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ43Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ53Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ66X ,  2H125AM08P ,  2H125AM24P ,  2H125AM61P ,  2H125AM70P ,  2H125AN02P ,  2H125AN23P ,  2H125AN29P ,  2H125AN33P ,  2H125AN41P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125AP11P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA11P ,  2H125BA20P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA11 ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CC21 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107DD90 ,  3K107DD95 ,  3K107DD97 ,  3K107FF15 ,  4J100AB02R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02R ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL10Q ,  4J100AL66Q ,  4J100AM17Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04P ,  4J100BA06P ,  4J100BA16R ,  4J100BC04P ,  4J100BC07R ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA32 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-144695   出願人：富士フイルム株式会社
• ポジ型感放射線性組成物、層間絶縁膜及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-104321   出願人：JSR株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、層間絶縁膜、有機EL表示装置、及び液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-171295   出願人：富士フイルム株式会社