特許
J-GLOBAL ID：201103079229361332

ポジ型感放射線性組成物、層間絶縁膜及びその形成方法

発明者：
一戸 大吾

一戸 大吾 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (7件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-104321
公開番号（公開出願番号）：特開2011-232648
出願日： 2010年04月28日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：
【課題】一般的な要求特性である透明性、表面硬度、耐溶剤性、及び電圧保持率を満足する層間絶縁膜を形成可能であり、かつ放射線感度に優れ、十分な保存安定性を有するポジ型感放射線性組成物、その組成物から形成される層間絶縁膜、並びにその層間絶縁膜の形成方法の提供。【解決手段】[A]同一又は異なる重合体分子中にアセタール基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、及び[B]下記式(2)で表される酸発生剤を含有するポジ型感放射線性組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A]同一又は異なる重合体分子中に下記式(1)で表される基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、及び [B]下記式(2)で表される酸発生剤 を含有するポジ型感放射線性組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/26 ,  C07F 9/26
FI (6件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/26 ,  C07F9/26
Fターム (55件)：
2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA11 ,  2H096HA01 ,  2H125AE13P ,  2H125AF14P ,  2H125AF16P ,  2H125AF18P ,  2H125AF21P ,  2H125AF35P ,  2H125AF46P ,  2H125AF53P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ42Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN81P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA26P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB02 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4H050AA01 ,  4H050AA03 ,  4H050AB81 ,  4J100AB03S ,  4J100AJ02S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL10P ,  4J100BA03R ,  4J100BA06Q ,  4J100BC53Q ,  4J100BC54P ,  4J100CA03 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (5件)
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