特許
J-GLOBAL ID:201203012850690072
ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野口 恭弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-144695
公開番号(公開出願番号):特開2012-008369
出願日: 2010年06月25日
公開日(公表日): 2012年01月12日
要約:
【課題】ITOスパッタ適性、硬度及び電気特性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、並びに、それを用いた硬化膜形成方法を提供すること。【解決手段】(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、(成分B)式(1)又は式(2)で表される酸発生剤、を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。R5、R6及びR7はアルキル基又は芳香族基を表し、R8及びR9は芳香族基を表し、X-はBY4-、PY6-、AsY6-、SbY6-、又は、式(3)若しくは式(4)で表される一価のアニオンを表し、Yはハロゲン原子を表す。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(成分A)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、
(成分B)式(1)又は式(2)で表される酸発生剤、を含むことを特徴とする
ポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/004
, G03F 7/039
, G03F 7/40
, H01L 21/027
, H01L 51/50
, H05B 33/22
, H05B 33/12
, G02F 1/133
FI (8件):
G03F7/004 503A
, G03F7/039 601
, G03F7/40 501
, H01L21/30 502R
, H05B33/14 A
, H05B33/22 Z
, H05B33/12 B
, G02F1/1333 505
Fターム (68件):
2H090HA03
, 2H090HA04
, 2H090HB07X
, 2H090HB17X
, 2H090HC05
, 2H090HC12
, 2H090HD03
, 2H090LA01
, 2H090LA04
, 2H090LA15
, 2H090LA16
, 2H096AA25
, 2H096AA27
, 2H096BA11
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H125AE13P
, 2H125AE15P
, 2H125AF14P
, 2H125AF20P
, 2H125AF21P
, 2H125AF26P
, 2H125AF27P
, 2H125AF35P
, 2H125AF38P
, 2H125AF45P
, 2H125AF46P
, 2H125AH05
, 2H125AH06
, 2H125AJ14X
, 2H125AJ14Y
, 2H125AJ44Y
, 2H125AJ63X
, 2H125AJ63Y
, 2H125AJ64X
, 2H125AJ64Y
, 2H125AJ66Y
, 2H125AM26P
, 2H125AM27P
, 2H125AN23P
, 2H125AN36P
, 2H125AN39P
, 2H125AN65P
, 2H125AN82P
, 2H125AN85P
, 2H125BA01P
, 2H125BA05P
, 2H125BA09P
, 2H125BA22P
, 2H125BA26P
, 2H125BA32P
, 2H125BA33P
, 2H125CA12
, 2H125CA22
, 2H125CA24
, 2H125CB06
, 2H125CC03
, 2H125CC15
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107DD89
, 3K107DD90
, 3K107DD97
, 3K107GG06
, 3K107GG11
, 3K107GG28
引用特許: