特許
J-GLOBAL ID：201303033456084730
静電チャック、静電チャックの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116035
公開番号（公開出願番号）：特開2013-243267
出願日： 2012年05月21日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】 異常放電の発生を抑制した静電チャック、静電チャックを提供することを課題とする。【解決手段】 静電チャックは、高周波電源に接続され、ガス流路が形成される金属製の台座部と、前記台座部側に配設される一方の面側から形成され、前記ガス流路に連通する第1穴部と、前記第1穴部よりも小さい開口を有し、前記第1穴部から他方の面側まで形成される第2穴部とを備える絶縁基板と、絶縁性材料で形成され、一端が前記一方の面側から前記第1穴部に挿入されるとともに、他端が前記ガス流路内に配設され、前記ガス流路から供給されるガスを前記第2穴部に通流させる絶縁通流部とを含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
高周波電源に接続され、ガス流路が形成される金属製の台座部と、
前記台座部に搭載され、前記台座部に対向する一方の面側において、前記ガス流路に連通する第1穴部と、前記第1穴部よりも小さい開口を有し、前記第1穴部から他方の面側に連通する第2穴部とを備える絶縁基板と、
絶縁性材料で形成され、一端が前記第1穴部に挿入されるとともに、他端が前記ガス流路内に配設され、前記ガス流路から供給されるガスを前記第2穴部に通流させる絶縁通流部と
を含む、静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
H01L21/68 R
, B23Q3/15 D
, H02N13/00 D
3C016GA10
, 5F131BA19
, 5F131CA68
, 5F131EA03
, 5F131EB12
, 5F131EB22
, 5F131EB89
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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